製造設備
VEGA-ES系列
萬一在半導體材料氣體鋼瓶擱置場地及氣體櫃內等發生毒氣體洩漏時，為了不像大氣擴散而進行處理的緊急處理裝置
特長
1使用了高處理能力的最新型乾式除害劑。
2.從5型到110型，為客戶提供豐富的產品裝置。還可以按照各種用途選擇無旁通的A型， 帶旁通的B型兩種機型。
3.充分考慮的節省空間的小型化設計。
對象氣體
金屬氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
鹵素類--BC13、HC1、BF3、F2等
對象氣體
原則上可以處理1只對象鋼瓶的量。(詳細請另行商量)。
表所記為VEGA-ES型除害塔之規格。
| 型式 | 有效充填量[L] 充填高度300mmH |
最大充填量[L] 充填高度650mmH |
斷面積[m2] |
|---|---|---|---|
| 2 | 84 | 182 | 0.28 |
| 20 | 333 | 721.5 | 1.11 |
| 30 | 507 | 1098.5 | 1.69 |
| 40 | 666 | 1443 | 2.22 |
| 60 | 972 | 2106 | 3.24 |
| 70 | 1200 | 2600 | 4.00 |
| 110 | 1833 | 3971.5 | 6.11 |
