製造設備
VEGACLEAN JGT系列
針對處理對象氣體，通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置，可根據客戶需求提供種類豐富的裝置。
1.可通過乾式藥劑將半導體材料氣體進行化學式固定，因此能可靠的進行無害化處理。
2.M型是採用了裝有雙筒除害桶的切換方式，可以長期持續性的進行無害化處理。
3.由於是簡單的乾式工藝裝置，省去了排水等設備。
| 單塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
|---|---|---|---|
| 復塔型 | JGT20MH) | JGT60M | JGT100M |
