製造設備

高純度氣體純化器

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
N2 TPNP-1400 ( 標準型 ) 6~20000
TPNP-140C(CH4 去除型) 100~4000
Ar TPAP-1400 ( 標準型 ) 6~200
He TPRP-1400 ( 標準型 ) 6~200
● 純化系統

O2、CO、H2 透過觸媒去除,CO2、H2O 透過吸附劑去除。

● 純化原理 ( 觸媒 / 吸附 )

純化 : 2Ni+O2 → 2NiO Ni+CO → Ni(CO) H2 由觸媒吸附。
再生 : NiO+H2 → Ni+H2O Ni(CO)+3H2 → Ni+CH4+H2O

流程圖

保證規格

TPNP/TPAP/TPRP 入口 出口
ppb ppb
O2 1000 ≦ 1
CO2 500 ≦ 1
CO 1000 ≦ 1
H2 1000 ≦ 1
H2O 2600 ≦ 1
CH4 * 1000 ≦ 1
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.5MPaG ≧ 0.4MPaG

*TPNP-140C型。
*非標準規格請與我們聯繫確認。

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
O2 TPOP-1400 ( 標準型 ) 3~1600
● 純化系統

CH4、CO、H2 透過觸媒氧化成 CO2、H2O 後透過吸附劑去除。

● 純化原理 ( 觸媒 / 吸附 )

2CO+O2 →2CO2
CH4 +2O2 →CO2 +2H2O
2H2 +O2 →2H2O

流程圖

保證規格

TPOP 入口 出口
ppb ppb
CH4 1000 ≦ 1
CO2 2000 ≦ 1
CO 1000 ≦ 1
H2 1000 ≦ 1
H2O 2600 ≦ 1
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.5MPaG ≧ 0.4MPaG

*TPKP 型可淨化空氣。
*非標準規格請與我們聯繫確認。

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
H2 TPHL-1400 ( 標準型 ) 10~700
● 純化系統

CH4、CO、N2、O2、CO2、H2O 透過低溫吸附劑去除。

流程圖

保證規格

TPHL 入口 出口
ppb ppb
O2 5000 ≦ 1
CO2 1000 ≦ 1
CO 1000 ≦ 1
CH4 1000 ≦ 1
N2 50000 ≦ 1
H2O 10000 ≦ 1
Ar 20000 ≦ 5
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.7MPaG ≧ 0.6MPaG

*非標準規格請與我們聯繫確認。

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
Ar TPAG-1400 ( 標準型 ) 1~300
TPAG-140H (H2 去除型 ) 1~300
He TPRG-1400 ( 標準型 ) 1~300
TPRG-140H (H2 去除型 ) 1~300
● 純化系統

藉由 Getter 去除不純物至極小的程度。

● 純化原理 (Getter)

2Zr+O 2 →2ZrO
2Zr+N 2 →2ZrN
2Zr+CO →ZrC+ZrO
2Zr+H 2 O →Zr(H 2 )+ZrO
3Zr+CO 2 →ZrC+2ZrO
3Zr+CH 4 →ZrC+2Zr(H 2 )

流程圖

保證規格

TPAG/TPRG 入口 出口
ppb ppb
N2 2000 ≦ 0.1
CH4 100 ≦ 0.1
O2 100 ≦ 0.1
CO2 100 ≦ 0.1
CO 100 ≦ 0.1
H2* 100 ≦ 0.5
H2O 2600 ≦ 0.1
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.5MPaG ≧ 0.4MPaG

*TPAG / TPRG-100H 型。
*非標準規格請與我們聯繫確認。

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
H2 TPHP-1400 ( 標準型 ) 6~200
● 純化系統

O2、 CO 透過觸媒去除, CO2、H2O 透過吸附劑去除。

● 純化原理 ( 觸媒 / 吸附 )

純化 : 2Ni+O2→2NiO Ni+CO→Ni(CO)
再生 : NiO+H2→Ni+H2O Ni(CO)+3H2→Ni+CH4+H2O

流程圖

保證規格

TPHP 入口 出口
ppb ppb
O2 5000 ≦ 1
CO2 1000 ≦ 1
CO 1000 ≦ 1
H2O 10000 ≦ 1
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.5MPaG ≧ 0.4MPaG

*非標準規格請與我們聯繫確認。

系統

● 型號
氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
NH3 TPMP-1000 ( 標準型 ) 3~120
● 純化系統

O2、H2O 透過觸媒與吸附劑作用達到超低濃度。

流程圖

保證規格

TPMP 入口 出口
ppb ppb
O2 5000 5
H2O 10000 10
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm

*非標準規格請與我們聯繫確認。

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